設備詳細

NFA-C350i
特殊氣體與大宗氣體前處理設備
提供智能化製備電子特殊氣體及大宗氣體之液態樣品,使取樣程序兼具安全性、穩定性與高效性。
     ★ 全球第一款電子氣體微汙染相關設備 ★
     ★ 已實際應用於半導體先進製程 ★

     

    智能軟體
    • 自動配置吸收液
    • 直覺化操作介面
    • 智能警示系統
    • 程控可變參數
     
    安全設計
    • 雙道防護門
    • 抗腐蝕操作台
    • 閥件與接頭都在設備中
    • 氣體洩漏偵測器
    • 強制保壓測試
    • 通過 SEMI S2 安規認證
     
    搭配產品項目:
    【NF金屬元素標準品】
    【超潔淨PFA瓶】