設備詳細

NFA-C350i

在線電子氣體自動取樣設備

提供智能化製備電子特殊氣體及大宗氣體之液態樣品，使取樣程序兼具安全性、穩定性與高效性。

設備特點
設備規格

★ 全球第一款電子氣體微汙染相關設備 ★
★ 已實際應用於半導體先進製程 ★

智能軟體

自動配置吸收液
直覺化操作介面
智能警示系統
程控可變參數

安全設計

雙道防護門
抗腐蝕操作台
閥件與接頭都在設備中
氣體洩漏偵測器
強制保壓測試
通過 SEMI S2 安規認證

搭配產品項目:
【NF金屬元素標準品】
【超潔淨PFA瓶】

NFA-C350i

Items	Description
尺寸	W 700 mm * D 900 mm * H 2100 mm；250kg
樣品採集方式	管路傳送樣品
相關認證	SEMI S2