設備詳細

NFA-1007Ad

智能氣態分子微汙染監測系列-在線氣態有機微汙染監測設備

可智能化監測半導體無塵室中對矽晶圓有潛在危害之 MC/VOCs，大面積即時監測百種以上揮發性或是半揮發性之有機化合物，間接協助半導體製程提升良率。

樣品採集

分析整合系統

NF智能軟體系統

安全設計

AMC Monitoring Series in Semiconductor Industry

搭配產品項目:

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Items	Description
尺寸	W 1400 mm * D 1100 mm * H 2500 mm (含三色燈)；600 kg
技術基礎	EI-GCMS / 電子撞擊四極杆式質量譜線分析儀 *為 IRDS (International Roadmap for Devices and Systems) 建議的分析方法
樣品採集方式	超潔淨 PFA 佈管，監測點位 16~80 ports *另外設置 offline 離線分析進樣口
採樣距離	距離最遠達 150 m
資料庫能力	FATC 資料庫 (Fab Air Trace-Contamination Database) *半導體行業專用揮發性有機氣體資料庫
解析能力	38 種 VOCs 全定量 / 百種 VOCs 半定量與未知物開發 (氟、氯、溴、硫化物類 VOCs 可全方位監測)
監測極限 (MDL)	20~150 pptv 全 VOCs 物種
分析時間	< 15 min (第一筆之後) * 一次分析輸出所有關注化合物
設備效能	監測範圍 / 檢量線範圍：5 ~ 100 ppbv 連續分析 5 ppbv STD gas：RSD <10 % 連續分析5 ppbv STD gas，各化合物之回收率落在 20% 以內
獨家功能	數值超標鎖點回饋
相關認證	SEMI S2 SEMI S23

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