設備詳細

NFA-C350

在線環境空氣離子微汙染監測設備

智能化監測無塵室中嚴重影響矽晶圓良率之 MA/MB 微汙染氣體，單機即可進行 MA 與 MB 分析，以短時間連續分析快速掃瞄全廠區，可間接提升半導體製程良率，為金兆益標規款 MA/MB 監測設備。

★ 一次分析即可獲得所有 MA/MB 的絕對濃度 ★

樣品前處理系統

分析整合系統

NF智能軟體系統

安全設計

搭配產品項目:
【NF 離子標準品】
【超潔淨 PFA 管】

NFA-C350p

Items	Description
尺寸	W 2800 mm * D 2200 mm * H 2400 mm；600 kg
技術基礎	Ion Chromatography ; IC / 離子層析 *為 IRDS (International Roadmap for Devices and Systems) 建議的分析方法
樣品採集方式	超潔淨 PFA 佈管，監測點位 20 ~ 100 ports (最少 20 ports) *另外設置 offline 離線分析進樣口
採樣距離	距離最遠達150 m
解析能力	全離子標準全定量 (單一設備氟、氯、溴、氮氧化物、硫化物、氨類可全方位監測) * 半導體廠無塵室經常監測離子有： MA: F^-, Cl^-, NO₃^-, SO₄^2- MB: NH₄⁺
監測極限(MDL)	< 100 pptv
分析時間	< 20 min (第一筆之後) * 一次分析輸出所有關注化合物
設備效能	檢量線範圍 (0.5 ~ 10 ppb)：R > 0.995 連續低濃度分析：5 ppb MA/MB RSD < 15% 滯留時間穩定性：RT shift < 2% 連續分析下，各離子的回收率落在 20% 以內
獨家功能	數值超標鎖點回饋
相關認證	SEMI S2 SEMI S23