半導體微汙染監測設備

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高效在線環境空氣離子微汙染監測設備

智能化監測無塵室中嚴重影響矽晶圓良率之 MA/MB 污染氣體，以每筆數據 10 分鐘產出速度快速掃瞄全廠區，可間接提升半導體製程良率，為業界性能最高規之智能監測設備，同時也是金兆益旗艦款。

在線環境空氣離子微汙染監測設備

智能化監測無塵室中嚴重影響矽晶圓良率之 MA/MB 微汙染氣體，單機即可進行 MA 與 MB 分析，以短時間連續分析快速掃瞄全廠區，可間接提升半導體製程良率，為金兆益標規款 MA/MB 監測設備。

在線氣態有機微汙染監測設備

可智能化監測半導體無塵室中對矽晶圓有潛在危害之 MC/VOCs，大面積即時監測百種以上揮發性或是半揮發性之有機化合物，間接協助半導體製程提升良率。

智慧型採氣罐氣態分子微汙染分析設備

半導體廠經常以採氣罐採集環境氣體進行後續分析，特別是對矽晶圓有危害之 MC/VOCs，為了提供客戶分析便利性，NFA-ALIS 可協助多組採氣罐連續分析，並智能化完成所有分析程序。

採氣罐自動清洗設備

針對VOCs微量檢測分析使用之採氣罐進行自動化的清洗程序，符合美國EPA測定方法清洗要求，幫您省去繁瑣的清洗作業。

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