半導體微汙染監測設備

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NFA-i108 series

智能電子化學品在線品質監測系列

智能化監測電子化學品或超純水內所殘留之微量金屬元素、微量離子及量測奈米粒子之粒徑，協助半導體相關產業快速進行化學品入料檢驗、製程中點位監測或化學品原料供應商執行出貨檢驗等。品質監測系統可間接協助半導體廠回溯影響良率的問題點，堪稱微污染的放大鏡。

智能電子化學品品質監測整合設備

協助電子化學品進入ICP-QQQ品管分析前的標準添加與檢量線配置並自動進樣，搭配內建NF智能軟體，可驅動ICP-QQQ之原廠軟體完成序列排程，並即時輸出數據結果，因此，您只需要將待測樣品放在置放架上，即可將後續工作交給IS-T10R。主要服務對象為半導體廠之廠務端與實驗室，以及電子化學品製造廠之品管部門。

實驗室微量元素標準品配製自動進樣系統

獨家設計線上校驗模組可針對微量元素標準品進行精準配製，除外還提供樣品稀釋、標準添加等功能。可外掛於多款ICP-MS協助自動進樣。桌上型體積適合研究單位使用。

在線電子氣體自動取樣設備

提供智能化製備電子特殊氣體及大宗氣體之液態樣品，使取樣程序兼具安全性、穩定性與高效性。

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