半導體微汙染監測設備

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在線晶圓表面逸散性有機微汙染監測設備

智能與自動化矽晶圓表面逸散性有機化合物分析監測設備，石英晶圓加熱腔體可分區加熱，並採集特定晶圓表面區域的 MC/VOCs。

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