設備詳細

NFA-ALIS

智能氣態分子微汙染監測系列-離線揮發性有機監測設備

半導體廠經常以採氣罐採集環境氣體進行後續分析，特別是對矽晶圓有危害之 MC/VOCs，為了提供客戶分析便利性，NFA-ALIS 可協助多組採氣罐連續分析，並智能化完成所有分析程序。

樣品採集

分析整合系統

智能軟體

搭配產品項目:
【NF 標準氣體】
【RESTEK 採氣罐】

NFA-ALIS

Items	Description
尺寸	W 2000 mm * D 1100 mm * H 1600 mm；550 kg
技術基礎	EI-GCMS / 電子撞擊四極杆式質量譜線分析儀 *為 IRDS (International Roadmap for Devices and Systems) 建議的分析方法
樣品採集方式	採氣罐進樣可放置 16 組 6 L 採氣罐 (其他尺寸採氣罐亦可搭配)
資料庫能力	FATC 資料庫 (Fab Air Trace-Contamination Database) *半導體行業專用揮發性有機氣體資料庫
解析能力	38 種 VOCs 全定量 / 百種 VOCs 半定量與未知物開發 (氟、氯、溴、硫化物類 VOCs 可全方位監測)
監測極限(MDL)	20~150 pptv 全 VOCs 物種
分析時間	< 15 min (第一筆之後) * 一次分析輸出所有關注化合物
設備效能	監測範圍 / 檢量線範圍：5 ~ 100 ppbv 連續分析 5 ppbv STD gas：RSD < 10 % 連續分析 5 ppbv STD gas，各化合物之回收率落在 15% 以內

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