設備詳細

NFA-C350c

智能電子氣體微汙染監測系列-在線電子氣體微量離子不純物監測設備

智能化監測電子特殊氣體或大宗氣體之離子殘留，提供從樣品製備到分析數據一條龍之自動檢測流程。

★ 全球第一款電子氣體微汙染監測設備 ★
★ 已實際應用於先進半導體製程 ★

分析系統

智能軟體

安全設計

搭配產品項目:
【NF離子標準品】

NFA-C350c

Items	Description
尺寸	W 1100 mm * D 1000 mm * H 2400 mm (含三色燈) ；400kg
技術基礎	Ion Chromatography ; IC / 離子層析
樣品採集方式	超潔淨PFA管進樣
解析能力	各種電子氣體的基質效應不同，因此可以觀測的離子種類也會不一樣，請洽金兆益業務討論。
監測極限(MDL)	個位數 ppbv * 不同電子氣體基質會有不同結果
設備效能	基質: 12.5% HF 下: 檢量線範圍 (2, 5, 10 ppbv)：R > 0.995 連續分析：5ppbv 離子標準品 RSD < 3% 滯留時間穩定性：RT shift < 1%
相關認證	SEMI S2

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