設備詳細

NFA-1007w

在線晶圓表面逸散性有機微汙染監測設備

智能與自動化矽晶圓表面逸散性有機化合物分析監測設備，石英晶圓加熱腔體可分區加熱，並採集特定晶圓表面區域的 MC/VOCs。

★ 自動化晶圓前處理、進樣與分析 ★
★ 晶圓表面全區或分區採樣 ★

樣品採集

分析整合系統

NF智能軟體系統

搭配產品項目:
【NF標準氣體】

NFA-1007w

Items	Description
尺寸	W1300mm * D1700mm * H2300mm; 900kg
技術基礎	EI-GCMS / 電子撞擊四極杆式質量譜線分析儀
樣品採集方式	WOS (Wafer Outgassing Sampling) 原理
資料庫能力	FATC資料庫 (Fab Air Trace-Contamination Database) *半導體行業專用揮發性有機氣體資料庫
獨家功能	晶圓表面全區或分區採樣