設備詳細

NFA-i108 series

智能電子化學品微汙染監測系列

智能化監測電子化學品或超純水內所殘留之微量金屬元素、微量離子及量測奈米粒子之粒徑，協助半導體相關產業快速進行化學品入料檢驗、製程中點位監測或化學品原料供應商執行出貨檢驗等。品質監測系統可間接協助半導體廠回溯影響良率的問題點，堪稱微污染的放大鏡。

★ 一套完整系統可同時監測微量金屬元素、微量離子及奈米粒子 ★
★ 已應用於化學品廠的全自動化 QC/QA ★

遠程傳輸系統

超潔淨設計

分析整合系統

設計服務

智能軟體

NFA-i108 series Workflow Diagram

搭配產品項目:
【NF金屬元素標準品】
【NF離子標準品】
【超潔淨PFA管】

NFA-i108 series

NFA-i108s – 微量金屬元素監測
尺寸	W 2400 * D 1000 * H 2300 mm (含三色燈)；300 kg
技術基礎	ICPMS / 感應耦合電漿質譜儀
樣品採集方式	超潔淨後壁式 PFA 管遠程傳輸 *另外設置offline離線分析進樣口
採樣距離	Chemical Station (CS) 至 NFA-108s/c/p (分析設備) 距離最遠可達 150m
解析能力	＞60 種以上之金屬元素 (視偵測器能力及對應化學品進行開發)
監測極限 (MDL)	sub-ppt level (不同電子化學品基質與不同金屬元素會有各自 MDL 值)
設備效能	檢量線範圍 (1~10pptv)：R > 0.995 連續分析下，各金屬元素的回收率 ±30% 以內
獨家功能	遠程插針系統 (Remote center) [選配] FSC-500 智能式自動洗瓶留樣設備
相關認證	SEMI S2

NFA-i108p – 奈米粒子監測系統
尺寸	W 2400 * D 1000 * H 2300 mm (含三色燈)；300 kg
技術基礎	ICPMS / 感應耦合電漿質譜儀
樣品採集方式	超潔淨後壁式 PFA 管遠程傳輸 *另外設置 offline 離線分析進樣口
採樣距離	Chemical Station (CS) 至NFA-108s/c/p (分析設備) 距離最遠可達 150m
解析能力	＞60種以上之金屬元素 (視偵測器能力及對應化學品進行開發)
監測極限 (MDL)	BED達nm
設備效能	連續分析20nm Fe，回收率80~120% 連續分析20nm Fe，粒子濃度RSD<10%
獨家功能	遠程插針系統 (Remote center) [選配] FSC-500智能式自動洗瓶留樣設備金兆益科技具有 ISO 17025 的 C999 鐵奈米粒子測定項目認證
相關認證	SEMI S2

NFA-i108c – 痕量離子監測系統
尺寸	W950D900H2275mm; 300kg
技術基礎	Ion Chromatography ; IC / 離子層析
樣品採集方式	超潔淨後壁式PFA管遠程傳輸 *另外設置offline離線分析進樣口
採樣距離	Chemical Station (CS) 至 NFA-108s/c/p (分析設備) 距離最遠可達 150m
解析能力	由於各種化學品的基質效應不同，因此可以觀測的離子種類也會不一樣，例如: 49% 氫氟酸 (HF) ▶ Cl^-, Br^-, NO₃^-, SO₄^2-, PO₄^3- 96% 硫酸 (H₂SO₄) ▶ Cl^-, NO₃^-, PO₄^3-, NH₄⁺
監測極限 (MDL)	個位數 ppb ~ sub-ppb
設備效能	檢量線範圍 (2~20ppb @ 12%HF)：R > 0.995 連續分析 2.5 ppb 離子分析 @ 12% HF 穩定性測試：RSD < 15% 滯留時間穩定性：RT shift < 2% 各離子回收率 ± 15%
獨家功能	遠程插針系統 (Remote center) [選配] FSC-500 智能式自動洗瓶留樣設備
相關認證	SEMI S2

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