設備詳細

NFA-1007Ad

智能大气分子微染色监测系列-在线气态有机微污染监测设备

智能化监测半导体无尘室中对硅晶圆有潜在危害之MC/VOCs，大面积实时监测百种以上MC/VOCs，间接协助半导体制程提升良率。

样品采集

分析整合系统

NF智能软件系统

安全设计

說明	描述
量測物種	總有揮發性有機物 (TVOC)、IPA、Acetone、Heptafluorobutyric anhydride 、2-Butanone 等 …
定量物種及範圍	高精密檢量線配製模組，可線性定量物種達 30種以上，Ｒ值＞0.995 ; 查核樣品回收率達 ±20% 內
設備偵測極限	20~150 pptv 全 VOCs 物種
設備穩定性	監測範圍/ 檢量線範圍: 2~100ppbv 連續分析5ppbv STD gas: RSD<10 % 連續分析5ppbv STD gas，各化合物的回收率落在15%以內
需求氣源	純氮氣、氦氣
需求電力	三相 220 V，30 A，50~60 Hz
尺寸與重量	1352 mm X 1080 mm X 2200 mm ; 500 kg