金兆益科技股份有限公司
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半導體微汙染監測設備
半导体微汙染监测设备
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半導體微汙染監測設備
電子化學品/特用化學品品質檢測解決方案
設備詳細
IS-T10R
智能電子化學品品質監測整合設備
協助電子化學品進入ICP-QQQ品管分析前的標準添加與檢量線配置並自動進樣,搭配內建NF智能軟體,可驅動ICP-QQQ之原廠軟體完成序列排程,並即時輸出數據結果,因此,您只需要將待測樣品放在置放架上,即可將後續工作交給IS-T10R。主要服務對象為半導體廠之廠務端與實驗室,以及電子化學品製造廠之品管部門。
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設備特點
設備規格
★ 只需放上樣品瓶,後續交給IS-T10R ★
簡易操作
連續10~15組樣品進樣
適用多種電子化學品
協助電子化學品標準添加、檢量線配置、樣品稀釋與進樣
NF
智能軟體系統
多功能智能化軟體彙整系統
人性化介面設計
大數據資料庫搭配自動作圖軟體功能
客製化報告輸出格式
交叉汙染控制
以封閉迴路式超潔淨管路與閥件組成
FFU提供正壓樣品置放空間
安全性設計
獨立送風櫃搭配抽風裝置
耐酸鹼密閉式管路
安全操作檯面設計
EMO緊急停止按紐
搭配產品項目:
【超潔淨PFA採樣瓶】
IS-T10R
Items
Description
尺寸
技術基礎
ICPMS/ 感應耦合電漿質譜儀
樣品採集方式
以採樣瓶方式進樣。
10組500mL或是15組250mL樣品瓶。
解析能力
多種金屬元素定量,包含常態性的製程關注微汙染 (Al, Ca, Cr, Fe, K…)
監測極限(MDL)
sub-ppt level (不同電子化學品基質與不同金屬元素會有各自MDL值)
設備效能
檢量線範圍(1~10pptv): R>0.995
連續分析下,各金屬元素的回收率落在30%以內
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