2. 半導體微汙染監測設備

半導體微汙染監測設備

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在線電子氣體揮發性有機微汙染監測設備

電子大宗氣體中殘存 MC/VOCs 不純物。內含獨家設計濃縮裝置 (NFC-SHTD)，達最佳化待測物採集條件。

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高效在線環境空氣離子微汙染監測設備

智能化監測無塵室中嚴重影響矽晶圓良率之 MA/MB 污染氣體，以每筆數據 10 分鐘產出速度快速掃瞄全廠區，可間接提升半導體製程良率，為業界性能最高規之智能監測設備，同時也是金兆益旗艦款。

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在線氣態有機微汙染監測設備

可智能化監測半導體無塵室中對矽晶圓有潛在危害之 MC/VOCs，大面積即時監測百種以上揮發性或是半揮發性之有機化合物，間接協助半導體製程提升良率。

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在線晶圓表面逸散性有機微汙染監測設備

智能與自動化矽晶圓表面逸散性有機化合物分析監測設備，石英晶圓加熱腔體可分區加熱，並採集特定晶圓表面區域的 MC/VOCs。

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在線電子氣體自動取樣設備

提供智能化製備電子特殊氣體及大宗氣體之液態樣品，使取樣程序兼具安全性、穩定性與高效性。

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在線電子氣體微量離子不純物監測設備

智能化監測電子特殊氣體或大宗氣體之離子殘留，提供從樣品製備到分析數據一條龍之自動檢測流程。