委託分析詳細

有機溶劑雜質分析

服務項目：

應用	前處理方法	檢測技術	MDL
有機溶劑雜質解析^*	Direct/ Dilute	GC-MS	ppb

^* 應用領域包含：半導體製程超純水、化學品、酸鹼有機化合物或混酸成分檢測等

前處理技術原理：
此實驗目的為分析揮發性與半揮發性之有機化合物 (Volatile organic compounds; VOCs)，依照客戶需求溫度下 (製程溫度) 所釋放出的化合物進行解析。
若為有機溶劑雜質解析，則稀釋或是直接進樣進行分析。

分析技術原理：
將前處理後收集到的有機化合物樣品導入氣相層析質譜儀 (GC-EI-MS) 進行定量與定性分析。

GC-MS是由兩個主要部分組成: 氣相層析與質譜。氣相層析是以不同待測物特性與管柱固定相親和性的差異將化合物彼此分離，使化合物有不同的滯留時間 (retention time)。而質譜儀則是以 EI-MS (EI = electron impact ionization) 進行捕獲，離子化、加速、偏向、最終分別測定離子化的分子。質譜儀是通過把每個分子斷裂成離子化碎片並透過質荷比 (m/z) 來進行測定。EI-MS 的優勢在於每種化合物會有自己的特徵離子碎片，可利用國際認可的 NIST Library 做初步定性。偵測極限可至 single ppb & sub-ppb 濃度範圍。

圖1. GC-MS 示意圖。

Figure source:
https://www.researchgate.net/figure/Schematic-plot-of-the-main-components-of-GC-MS-instruments_fig1_273955959

參考資料：

NIST Library: https://www.nist.gov/news-events/news/2020/06/nist-adds-new-fingerprints-chemical-identification-database