委託分析詳細

服務項目：

應用	前處理方法	檢測技術
高純度氣體*	Inline impinger (NF method)	ICP-QQQ

^* 電子級特殊氣體與大宗氣體


分析技術原理：
感應耦合電漿質譜儀 ICP-MS (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry； 或稱 ICP-QMS) 為市面上偵測極限最低的金屬元素分析儀器，因此很適合應用於需要觀測微量金屬含量的半導體廠。進階款感應耦合電漿串聯式質譜儀 ICP-QQQ (Triple quadrupole ICP-MS) 則是多了一組四級柱 (quadrupole) 做質荷比 (m/z) 篩選，因此可多一層過濾掉其他干擾物的步驟。
 
圖1. ICP-QMS與ICP-MS的運作原理示意圖。(圖片來源: 安捷倫型錄)


半導體廠相關應用：
圖2. 應用於半導體製程之電子化學品。


參考資料:

1. http://milli-q.com.tw/blog/detail/b3a79e68-c2f3-4ef6-8f08-638371b0c848?pageno=3

2. https://www.agilent.com/cs/library/brochures/5991-0079EN_8800_ICPQQQ_Brochure.pdf