產品詳細

光阻稀釋液

OK-73

產品特點
產品規格表

共有8大特點：

由TAF認證實驗室進行品管
產品等級E1~E4 (微量元素ppt~ppb)
500mL與1L的小瓶包裝
使用半導體等級之元素分析設備ICP-MS檢測產品中的微量元素殘留量
擁有獨家研發的洗瓶技術
微汙染控制之產品填充技術
從純化到包裝均於無塵室控管
提供客製化服務

OK-73

金兆益等級	標準包裝	內容物規格
E1 (最高規)	500mL/Btl	控管47種微量元素；34種¹ < 1 ppt，常態性污染元素 < 5 ppt：鋁(Al)、鈣(Ca)、鉻(Cr)、鐵(Fe)、鉀(K)、汞(Hg)、鎂(Mg)、鎳(Ni)、硒(Se)、鈉(Na)、鈦(Ti)、鋅(Zn)、銅(Cu)
E2	500mL/Btl	控管47種微量元素； 34種¹ < 5 ppt，常態性污染元素 < 10 ppt：鋁(Al)、鈣(Ca)、鉻(Cr)、鐵(Fe)、鉀(K)、汞(Hg)、鎂(Mg)、鎳(Ni)、硒(Se)、鈉(Na)、鈦(Ti)、鋅(Zn)、銅(Cu)
E3⁺	500mL/Btl	控管47種微量元素 < 50 ppt
E3	1L/Btl	控管47種微量元素 < 50 ppt
E4	1L/Btl	控管22種微量元素 < 1 ppb

* E3+與E3為包裝差異，分別為500mL PFA瓶與1L HDPE瓶。
* 詳細規格請洽業務