| 尺寸 | W 2000 mm * D 1100 mm * H 1600 mm；550 kg |
| 技術基礎 | EI-GCMS / 電子撞擊四極杆式質量譜線分析儀
*為 IRDS (International Roadmap for Devices and Systems) 建議的分析方法 |
| 樣品採集方式 | 採氣罐進樣
可放置 16 組 6 L 採氣罐 (其他尺寸採氣罐亦可搭配) |
| 資料庫能力 | FATC 資料庫 (Fab Air Trace-Contamination Database)
*半導體行業專用揮發性有機氣體資料庫 |
| 解析能力 | 38 種 VOCs 全定量 / 百種 VOCs 半定量與未知物開發 (氟、氯、溴、硫化物類 VOCs 可全方位監測) |
| 監測極限(MDL) | 20~150 pptv 全 VOCs 物種 |
| 分析時間 | < 15 min (第一筆之後)
* 一次分析輸出所有關注化合物 |
| 設備效能 | - 監測範圍 / 檢量線範圍：5 ~ 100 ppbv
- 連續分析 5 ppbv STD gas：RSD < 10 %
- 連續分析 5 ppbv STD gas，各化合物之回收率落在 15% 以內
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