NFA-1007c 提供智能 AI 質檢，專注於解析各種電子氣體中的有機不純物殘留。前端整合了最佳化的有機汙染物濃縮模組，能夠捕捉全範圍的待測物，後端則搭載質譜技術，實現對全有機不純物的解析與辨識。整個檢測流程通過 AI 應用的機況自主管理，更有效地掌握電子氣體的品質狀況。這款設備專為先進製程而設計，隨著先進製程從濕式轉向乾式製程，包括氧化沉積和蝕刻製程，乾式製程中使用的特殊氣體和大宗氣體作為反應原料變得至關重要。在應用製程之前，需要對這些原料進行嚴格的品質管理，以確保製程良率能夠維持在規範水平。