設備詳細

NFA-C350c 實現智能 AI 質檢電子氣體殘留離子的檢測，整合了前端的氣體吸收和樣品前處理模組，延續了 NFA-C350i 的技術。後端引入了在線離子層析（IC，ion chromatography）進行解析，用於接收樣品後進行分析和數據處理，整個檢測流程通過 AI 應用的機況自主管理，使檢測過程更加順暢。

這款設備專為先進製程而設計，隨著先進製程從濕式轉向乾式製程，包括氧化沉積和蝕刻製程，乾式製程中使用的特殊氣體和大宗氣體作為反應原料變得至關重要。在應用製程之前，需要對這些原料進行嚴格的品質管理，以確保製程良率能夠維持在規範水平。