設備詳細

NFA-C350i 和 NFA-i108s 串接，實現智能 AI 質檢電子氣體殘留元素檢測。NFA-C350i 作為前端設備，將氣體轉換為液體樣品進行吸收與進樣，而 NFA-i108s 則配備 ICP-MS/MS，用於接收樣品後進行分析和數據處理。整個檢測流程通過 AI 應用的機況自主管理，使檢測過程更加順暢。這兩款設備專為先進製程而設計，隨著先進製程從濕式轉向乾式製程，包括氧化沉積和蝕刻製程，乾式製程中使用的特殊氣體和大宗氣體作為反應原料變得至關重要。在應用製程之前，需要對這些原料進行嚴格的品質管理，以確保製程良率能夠維持在規範水平。