高純度特用化學品 / 濕式電子化學品/ 電子化學品於半導體製程各個階段廣泛應用於，薄膜 (thin film)、擴散 (diffusion)、微影 (photolithography)、蝕刻 (etching) 及化學機械研磨 (CMP) 等製程。隨著高效運算需求的提升，半導體線寬尺寸逐漸縮小，此時需嚴格控制特用化學品之微汙染殘留，以確保不影響產品的良率水準。
IS-T10R 在線智能電子化學品 品質監測整合設備：半導體廠務 AI 離線解決方案
智能 AI 判斷功能
設備的智能 AI 設計能讓實驗室效率大幅提升，人員不需擔心運作過程中任何突發狀況發生。
- 邏輯式定量機制：當檢量線未達設定標準，系統自動重新建立檢量線。
- 機況自主管理：多筆樣品分析過程會安插自動機況診斷機制，可能出現的狀況有偵測器感度衰退、背景值汙染等，針對不同定義將啟動對應機制，例如常態感度衰退，則輔以修正係數。以確保設備能產出可靠數據，並維持在最佳狀態。
卓越的抗汙染設計
為確保 IS-T10R 系統免受外部環境干擾，我們採取了一系列措施。首先，將樣品瓶放置區域設定為正壓環境，同時配置抽風系統，正壓環境不僅可以減少外部空氣進入，亦可將可能逸散的化學物質引導至排風口，以確保環境空氣保持潔淨，避免交叉污染。此外，樣品瓶的瓶口設計了特殊的閉鎖瓶蓋，實現了雙重保護，確保化學物質在高度潔淨的環境中運行。
- 正壓送風櫃搭配抽風裝置
- 無硼濾網 (ULPA)
- 防塵拉門
- 封閉式的樣品輸送
實務應用
- 化學品生產單元品質檢測
- 半導體廠務系統水質與廢水檢測