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NFA-i108 series
智能電子化學品 品質監測系列
電子化學品內殘存的微量金屬元素、陰陽離子與奈米粒子汙染,透過在線智能化質檢程控與AI技術的應用,為特用化學品廠與半導體材料廠打造高純度電子級化學品品管監控機制,實現與生產線即時連結。
IS-T10R
智能電子化學品品質監測整合設備
專注於為半導體相關廠務提供先進的 AI 離線解決方案,目的是使客戶能夠在不熟悉感應耦合電漿質譜 (ICP-MS) 和離子層析 (IC) 的情況下輕鬆執行高階品管技術。設備結合 AI 程控技術,協助客戶完成繁瑣的任務,進一步提升工作效率與生產力。
NFA-iSQ
實驗室微量分析機器人
專為研發實驗室設計之智能 AI 助手,旨在協助研發人員執行冗長的化學品檢測程序,讓您集中精力於實驗結果判讀與策略擬定,大幅提升專案開發效率。
NFA-C350i / NFA-i108s
在線電子氣體微量金屬不純物監測設備
NFA-C350i 串接 NFA-i108s 實現智能 AI 質檢電子氣體殘留之元素 (elements),前端 NFA-C350i 為氣體轉換液體的樣品吸收與進樣設備,後端 NFA-i108s (with ICP-MS/MS) 接收樣品後進行分析與數據處理流程,透過 AI 應用的機況自主管理,使檢測流程更加得心應手。
NFA-C350c
在線電子氣體微量離子不純物監測設備
提供電子氣體智能 AI 質檢技術,專注於分析各式電子氣體中的離子汙染物殘留。前端整合了氣體吸收和樣品前處理模組,延續了 NFA-C350i 的技術。後端則引入在線離子層析(IC,ion chromatography)進行解析,並透過 AI 應用的機況自主管理,使檢測流程更加得心應手。
NFA-1007c
在線電子氣體揮發性有機不純物監測設備
提供智能 AI 質檢,專注於解析各種電子氣體中的有機不純物 (organics impurity) 殘留。前端使用最佳化的有機汙染物濃縮模組,能夠捕捉全範圍的待測物。後端搭載質譜技術,實現對全有機不純物的解析與辨識。透過 AI 應用的機況自主管理,更有效地掌握電子氣體的品質狀況。
NFA-1007w
晶圓化性成因故障分析 - 有機物類
聚焦晶圓缺陷位置之有機汙染物解析,有助於客戶進行晶圓缺陷與良率的相關性故障分析 (Failure analysis)。
AMC Inline Solution
方案 I : 全廠區 AMC 標準監測全方案
半導體製造邁入工業 4.0,「全廠區常態監測系列」與智慧製造無縫整合。透過製造環境 AMC 長時間的監測數值,能掌握現場 AMC 變化趨勢,客戶運用積累資料庫進行大數據分析,實現製造與服務流程的精準優化。
AMC Lab Solution
方案 II:AMC 實驗室智慧集成解決方案
專為半導體產業品管實驗室與微汙染控制部門所開發之 AMC 全能 AI 助手,專業分析技術與邏輯判斷能力集成之解決方案。協助客戶連續解析於製程環境採集的多組樣品,降低人為操作的數值偏差,同時提升分析效率。
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